为了更好地调整CGH与被测镜，CGH上会同步制作相对应的对准全息和特征点全息，以方便快速安装好CGH与被测镜，大大减少调整时间。
CGH的误差主要来源于设计误差、基板透射波前、刻线位置误差等。一般来说，设计残差可以优化到0.001λ，忽略不计。采用的高精度基板透射波前一般可达RMS λ/100（可定制最高精度λ/600RMS的基板），刻线位置误差一般为80nm*，最高可优于20nm，采用激光或电子束直写，综合测量精度一般可优于λ/100，最高可达λ/600RMS*（λ=632.8nm， * 代表的精度与图案和设备有关）
