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极紫外光的“纳米眼”:0.3NA光学系统如何用干涉仪“看清”自己?
波长13.5nm、精度0.55nm RMS——EUV干涉测量挑战与突破在半导体制造的前沿,极紫外(EUV)光刻是推动摩尔定律继续前行的关键技术。EUV光波长仅13.5 nm,比可见…
2026-05-26
用“光之手”触摸完美:揭秘红外计算全息图如何为太空巨眼“体检”
从纳米级加工到波长调谐干涉,一文看懂WFIRST棱栅元件的精密检测黑科技人类对宇宙的渴望,从未像今天这样迫切。我们想知道暗能量是什么,想找到另一颗地球,想看到宇宙第一缕星光。而即将…
2026-05-26
一体化车削抛光+计算全息CGH检测:一台可“拼装”的望远镜诞生记
在航天遥感、大气探测、天文观测等领域,望远镜的性能直接决定了我们能看到多少细节。然而,传统高精度望远镜往往由多个镜片组成,每个镜片都需要独立加工、单独调试,最后像搭积木一样小心翼翼…
2026-05-26
自由曲面反射镜的高精度检测:CGH零位法中的对准难题与解决方案
在红外望远镜、空间光学等高端系统中,自由曲面反射镜正变得越来越重要。它可以替代多个传统球面/非球面元件,显著减轻重量、简化系统。然而自由曲面的检测比旋转对称非球面困难得多——不仅面…
2026-05-26
30米口径vs纳米精度:下一代望远镜的制造极限挑战
从30米口径的巨型拼接镜面,到纳米级的加工精度,一文看懂未来天文台的“硬核”制造术。人类对宇宙的好奇从未停止。从伽利略1.5厘米的小望远镜,到如今动辄二三十米的“巨眼”,天文学家一…
2026-05-26
EUV 光学元件高精度面形检测思考:补偿器法全解析
极紫外光刻(EUVL)是推动芯片制程不断微缩的关键技术。当波长缩短到 13.5 nm,所有光学元件只能采用反射式结构,且面形精度要求惊人——0.2 ~ 0.3 nm RMS(最初始…
2026-05-26
非球面检测为什么越来越离不开 CGH?
非球面检测为什么越来越离不开 CGH?这几年,非球面几乎成了高端光学系统的“标配”。手机影像、车载镜头、激光雷达、精密仪器——性能越卷,非球面越多。但在制造端,真正让人头疼的,往往…
2026-04-30
大口径高精度凸非球面检测:从难题到解决方案
在高端光学系统中,有一种镜片非常“特别”:它不是球面、不是简单非球面,而是凸非球面反射镜 —— 表面在多个方向上都有不同曲率,像陡坡一样“抛出去”。它的光学性能非常优越,但是 检测…
2026-04-30
大尺寸柱面镜,为什么越来越多选择 CGH + 拼接测量?
一、柱面镜的CGH测量方法在高端光学系统中,柱面镜并不少见。线扫描成像、激光整形、高功率激光系统中,柱面镜往往承担着“只在一个方向聚焦或整形”的关键角色。随着系统性能不断提升,柱面…
2026-04-30
从原理到实践:干涉仪+CGH检测非球面的全流程
Hello,各位光学朋友们,大家好!在非球面检测领域,我们之前介绍过一些常规的干涉仪方法。但面对高陡度、大偏离量的复杂面形时,传统方法就力不从心了。今天,我们来深入探讨一项更前沿…
2026-04-30
CGH让非完备成像镜头“说了真话”:一次测出所有视场的像差
01|一个被忽略的前提:手机镜头和物镜,本质上“测不准”在很多光学工程中,我们默认一个前提:波像差是可以被准确测量的但随着光学系统的复杂性提高,其由很多子系统构成,这类子系统本身不…
2026-04-30
CGH检测畸变矫正:从“结果变形”到“数据可用”
在非球面、离轴非球面与自由曲面加工中,干涉检测往往离不开补偿器或 CGH(Computer Generated Hologram)来做像差补偿。但很多工程现场会遇到一个“看起来很离…
2026-04-30
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